在于阗，朱士行抄取了九十品《般若经》梵文本，于西晋太康三年遣弟子弗如檀等十人护送经卷回洛阳。十年以后，由精通梵汉两语的天竺和尚竺叔兰和学问赅博的西域和尚无罗叉两人译出，称《放光般若经》，共二十卷。当《放光般若经》在汉地大为流行之时，朱士行仍在于阗，最后以八十岁高龄为求法而客死他乡。《梁高僧传》说他死时有异相。火化后，“薪尽火灭，尸犹能全”，后念诵咒语，骨架才散碎，其弟子们聚骨造塔以扶养。
唐初，少林寺已具有一支英勇善战的僧侣步队。武德年间，少林寺僧13人，在李世民讨伐王世充的交战中助战得救，立下了汗马功绩。李唐立国后，唐太宗李世民厥后封昙宗僧报酬大将军，并特别答应少林寺和尚练僧兵、开杀戒、吃酒肉，今后各朝各代因循成习。庙内有一块《唐太宗赐少林寺主教碑》，记叙了这一段汗青。因为朝廷的大力支撑，少林寺生长成驰名中外的大梵刹，博得“天下第一名刹”的称呼。宋朝，少林技击又有很大进步，寺僧多达2000余人。元朝初年，少林寺方丈敷裕曾被武功盖世的元世祖忽必烈封为晋国公。在明朝，少林寺达到鼎盛期间。