一七三所前研讨员江清月，恰是在这个尝试室里，停止着本身的事情。所谓准分子激光，并非是对激光本身属性停止的描述，而是特指的收回激光物质为准分子。
“真的？”赵大健神采刹时变得很坏，向江清月怒斥道：“小江你们激光尝试室是如何回事？即便不能追上国际先进程度，但追踪国际程度也做不到吗？你听听，人家日本已经在利用镥铝柘榴石来制作镜头了，你们还在做石英质料的实验，这如何能够满足我们运营部的需求？”
江清月迷惑的看了赵大健一眼，她在泛翰研讨院只是比较基层的研讨员，级别是比不上赵大健的。但赵大健卖力的是运营部，本身又管不到技术部的事情。她昂首向内里看去，却见到笑扉扉站在门外微微的点了点头，这才放下了心来。
“色差赔偿！”城三太郎微微一愣，脸上的神采就有些生硬了。如果说之前他还只是思疑，那么听到江清月的研讨内容，就几近是坐实了泛翰个人在0.35微米工艺的技术上，必定是获得了不小的冲破。色差赔偿是光刻机研讨范畴，非常首要的内容。通过使色差最小化，能够按捺由激光带宽变动所引发的光学邻近效应。比如部分光斑、入射角和热象差、偏振状况节制才气的保持。
城三太郎翻开尝试记录，粗粗的扫了两眼，不由得就是暗自心惊。各种光波在分歧材质当中穿行，产生的窜改都不不异。193nm的准分子激光，想要利用在光刻机上，就必须对镜头停止全新设想。在此之前就必须详细的实验新质料，全面的体味镜头对激光产生的统统影响。
“北通衢先生，你看我们的激光技术如何样？这套准分子激光设备，是我们泛翰研讨院自行研制的，能够天生193nm波长的紫外激光。”赵大健陪着笑，将日本查抄团领进了尝试室。
“赵桑，这些数据都是你们本身的镜头，测试出来的成果吗？”城三太郎非常焦心的问道，他如许的题目能够说是非常的不规矩，但这个时候已经没有表情去计算这类小事了。
城三太郎这话说的也是半真半假，他当然不成能拿纯粹的谎话来乱来。泛翰研讨院能够走到这个境地，没有点技术功底是不成能的。但镥铝柘榴石本身却极难加工，对激光的影响和石英质料也完整分歧，如果泛翰研讨院真的转头去研讨这类质料，恐怕十年内都没有但愿获得服从。
“我能看看你们的尝试记录吗？”城三太郎还是非常谨慎的提出了他的要求，中国人或答应以摆一个花架子来骗他，但绝对没有体例编出一套精确的尝试成果来。如果这类尝试记录都能编出来，那更申明他们把握了这项技术……
从尝试记录的成果上面来看，明显泛翰个人已经对高密度石英，停止了全面的激光测试。测试进度起码已经达到了80的程度，要晓得当全数测试完成以后，接下来要停止的就是镜片设想事情了。进入这个阶段，根基便能够看作是0.35微米工艺光刻机技术开辟，进入到最后的步奏了。
这些技术困难，直接决定了反射镜的数量与范例。这些镜头设想的细节，每一点改进都意味着间隔胜利更近了一步。
“这你怕甚么？个人很快就能获得一笔一亿美圆以上的订单，到时候天然有资金持续停止投入……”赵大健说了两句，俄然认识到当下的场合，赶紧收住了嘴巴，冷冷的哼了一声道：“这个题目上面自有考虑，激光尝试室先把石英质料的实验停下，做一做镥铝柘榴石的预研吧。”