“嗯，是的，就是不太较着。”
不过喷淋法最大的长处就是能完整的操纵现有设备，能够说这套喷水和吸水的设备完整独立于晶圆出产线，只和光刻镜头联动，停止晶圆出产线技术进级时难度和改建本钱都极低。
七十年代中期，支流蚀刻机对颠末光刻机暴光以后晶圆都是采取液体化学溶剂冲刷光刻胶，是以也叫湿式蚀刻，七十年代末八十年代初，东洋尼康采取气体冲刷的干式蚀刻机研制成熟，只用了几年的时候就淘汰了操纵庞大腐蚀净化严峻的湿式蚀刻。
王欣所言超纯水的纯度差未几微观到了分子级别，起码得把水中的重水全都分离出去，共和国能出产这玩意的部分怕是只要核产业部一家无能。
这类体例的好处是工程上的技术难度较低，不会对晶圆出产线的良品率形成负面影响，不过缺点是要对现有的晶圆出产线做较大的窜改，必须研制全新的能在水中事情的光刻胶，必须对晶圆事情台加以改进，并且因为晶圆事情台上增加了水的重量，晶圆出产线的出产节拍也会随之窜改，比拟喷淋法晶圆出产线的出产效力会有必然幅度的降落。
“老聂，你这话可不准，形象点说干式蚀刻和湿式蚀刻是冲刷，和大少这个美满是两码事。”
技术大佬三人组固然都没说话，不过神采都是非常同一的“特喵逗我”。
梁远这句话一出口，技术大佬三人组都晓得事情严厉了。
是以此次苏良宇等人此次去西门子构和，遭到了西门子半导体极其热忱的欢迎，和三个月之前的态度的确判若两人，乃至西门子还承诺会在欧洲电子行业内部展开游说，争夺尽早把2微米制程技术撤下巴统的监控名单。
梁远做了个无法的神采。
约莫过了五六分钟，冥思苦想中的梁远眉头一展，伸手呯的拍了一下身前的桌面，因为力量很足的原因把桌面上的酒杯都震得小小的位移了一下。
小集会室里一片沉寂，也不知过了多久，王欣喃喃的说道：“大少，我是完整信赖你是被赢利担搁了的科学天赋了。”
梁远本身也笑场了。
刘飞扬在纸上龙飞凤舞的写了大半张的算式，然后昂首用没法置信的语气对梁远说道：“大少，如果从西门子引进的设备投产，把大少这个设法放收支产线，我们直接就撵上国际先进水准了～～”
“细心看湖面上的列车灯光投影～”
水的折射率是1.44，港基集电目前营运的晶圆出产线线宽是5微米，如果像梁远所言的直接在水里光刻都不消变动光刻机的镜头组数和改换新光源，直接就能把线宽变成3.5微米。
宁婉嘉猎奇的问道。
除了特别极度前提，物理定律必定是不会变的，晶圆丢水里当然会变相增大镜头的NA值。
梁远决定临时疏忽本身被打回高中的究竟，先用事情把家里人对付畴昔。
梁远非常对劲的说道。
梁远否掉了聂晓天的假定。
刘飞扬收起轻松的心态，快步把小集会室的门锁成手动开启的那种。
九十年代初，制程工艺和芯片设想之间的分界远没有将来那般清楚，技术大佬三人组目前固然都是以芯片设想为主业，但三人都对晶圆制程了如指掌，随便丢到那条产线被骗个线长绝对是富富不足。
固然梁远一本端庄的编着心灵鸡汤，可葡萄汽水这个名词一出口，小集会室还是响起了低低的笑声，宁婉菲的葡萄口味汽水在远嘉已经成了很闻名的“梗”。
梁远笑着说道。
实际上，哪怕没有梁远滋扰汗青，在九一年的下半年巴统构造本身就开端会商，把2微米制程技术对共和国开放绿灯的可行性。