目前统统的题目，都集合在电子束光刻机身上。
苹果财大气粗，能够流片2，3次，然后选出最好的定型。
是极慢！不是慢。比起光刻来，需求的时候，多了起码一百倍。
但是换作其他芯片厂，失利一次就元气大伤，失利两次差未几就要停业了。
哪怕花掉身上统统的灰雾能量和白雾能量，也要将快速电子束光刻机研讨出来。
连学志笑道：“不是不消光罩，而是组合反复利用，将光罩作为牢固投资，而不是耗材。”
陈飞终究把大抵的题目想通了。
以是，不要抱怨芯片设想保守，不保守不可。
波是非，就更轻易开辟出先进制程。
只见影象中，芯片设想公司，将设想图交给晶圆厂，然后晶圆厂阐发设想图，再从光罩库中，挑选光罩单位，将它们拼接在一起，构成了一张残破的图形。
陈飞冲动不已，跟着他又想起一个题目来：“不晓得用电子束，能不能达到10nm工艺。”
小米做手机芯片，愣是不敢直接上16nm，就是怕流片失利。
坦白的讲，陈飞不晓得他们是如何完成此项豪举的。
并且在制程上，能够中转3nm！
NBL的电子束光刻机，直写的速率一样很慢，究竟上目前市道上出售的统统电子束光刻机，直写速率都极慢。
连学志神采也严厉起来，说道：“是的，电子束很好，但是它太慢了，之前一向只能在尝试室中利用。RB人的数据却分歧，他们的速率，起码是1分钟1片的速率，太夸大了，我不晓得他们是如何做到的。或许他们不是用电子束？”
如果RB人真的如此做，那么在接下来的合作中，他们的反攻将会非常凌厉。
陈飞诚心肠问道：“多谢连传授指导，我另有一个迷惑，就是无尘室。晶圆厂的无尘室，仿佛不是纯真为了包管晶圆不受灰尘滋扰，同时也是为了包管良率。不消无尘室，良率会不会出题目？”
这项技术，是真正的弯道超车。
然后电子束用纳米套刻的体例，将模板图形套刻在晶圆上，以后电子束再逐点扫描，将图形补全。
为甚么厂房只需求一个足球场就够了，因为工序少，设备也就少，同时也就不需求无尘室；
博康收买了英国NBL电子束光刻机，并且把出产线搬到了海内。
为甚么不需求分外光罩，因为用的是能够反复利用的光罩库。
他冲动地走来走去，过了一会儿，才将思路重新清算清楚。
连学志笑道：“浅显的晶圆厂，需求用无尘室，主如果因为他们的工序太多了，差未几有200到300道工序。但是用电子束，20道摆布便能够了。无尘室在这里不是关头。”
连学志有些矜持地说道：“我在IBM的时候，做过2nm的器件，当然只要几十个晶体管了，主如果摸索工艺。”
事情终究有了端倪，陈飞略微松了口气。
说到前面，连学志竟然自我思疑起来。
陈飞直接跳了起来，要不是连学志就在面前，要保持形象，他直接想爆粗口了。
但是RB的速率，是1分钟1片，只比浅显光刻略微多了一点，实在太快了，让人不敢信赖誉的是电子束。这也是独一冲突的处所。
他说道：“传授，电子束光刻机才是关头啊。”
他操纵了一会，用全息影象的体例，将思路揭示出来。
一条清楚的头绪刹时贯穿。
一样的，如果陈飞把握了这项技术，那么在制程合作中，就会敏捷反超。EUV的波长很短，只要13.5nm，intel和台积电都还没用上EUV呢。但是电子束的波长更短！
光刻部分，就完成了！